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化学/真空镀膜设备与工装介绍

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化学/真空镀膜设备与工装介绍

化学镀膜的方法很多,主要有酸腐蚀法、水解法、氧化法(多用于半导体材料)、气相法、高温分解法和置换反应法。这些方法所用的设备和工装与真空镀膜相比是十分简单的。

例如:酸蚀镀膜法只需要一个恒温电路和几个耐酸碱的搪瓷盘,高温分解镀膜法所用设备是一个专门的加热炉,半导体氧化镀膜法是利用由几个管道和加热器组成的电炉设备。只有溶液水解镀膜法需要一台称为化学镀膜机的简单设备。如下图:
真空镀膜